規格: ●產水量:超純水 > 36L/Hr、純水20 L/Hr (±10%) ●比阻抗值 (MΩ.cm, 25 ℃) ≧ 18.2 ●微生物 (總菌落數, cfu/ml) < 1 ●總有機碳 (TOC) < 10 ppb ●總矽酸鹽 (Total Silica, ppb) < 3 ●操作溫度5-35℃ ●符合ASTM Type 1等級 ; SGS認證